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气体流量单位一般以sccm（standard cubic centimeter per minute，每分钟标准毫升）和slm（standard liter per minute，每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325pa (760mm hg); 温度—0℃ (27---k)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于ml/min﹑l/min 之处。
怕粉尘， 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器， 造成测量误差， 要求在进气口前加装过滤器;
怕液体和油污进入mfc， 会造成失控， 如果mfc的出口接有液体罐， 需要在mfc出口加上单向阀， 防止液体回流;
怕使用潮湿的腐蚀性气体， 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈， 造成mfc通道损坏， 因此要求在使用腐蚀性气体前， 要对气体和mfc管路系统进行干燥处理;
怕在使用强腐蚀性、有毒等危害性气体时不按安全规则操作， 有可能造成产品损坏和其它更---的损失。正确使用， 安全操作， 对每个用户都是重要的。
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