




流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。流量控制器的剖面结构图见图1。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,定量流量计,数字电压表,定量流量计报价, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。气体流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理。

提高气体流量控制器实用准确度的措施为:
1.针对气体流量控制器的实际工艺参数,定量流量计公司,对该流量计进行“个性化标准”,从而实现在实际使用流量点的一定范围内,该气体流量控制器的实际测量误差(与标准值的差)趋于零。
2.把好气体流量控制器的安装环节,安徽定量流量计,减少或消除机械应力、机械扭力和机械振动等对该流量计使用的影响。
3.考虑工艺压力、温度等对气体流量控制器测量准确度的影响。
4.把好气体流量控制器的投用关。
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流量计,即mass flow meter(缩写为mfm), 是一种准确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。
流量控制器, 即mass flow controller(缩写为mfc), 不但具有流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,mfc自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。

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