气体热流量计原理-气体热流量计-厚礼博北京精密仪器

流量控制器

怎样选择流量显示单位？

我们的流量显示仪一般提供三种流量显示单位，即百分比﹑sccm﹑slm。出厂前根据用户的要求设定。按百分比显示的方式，即是将 mfm / mfc 的流量测量值按其占满量程的百分比来显示，气体热流量计，例如，规格为50sccm的mfm/mfc，当显示值为80%时，实际的流量为40sccm。对任何一种规格的mfm/mfc，满量程值都显示为100%。这种方式通用性好，可配不同量程的mfm/mfc，但不直观，有的用户不习惯。

按 sccm或 slm显示，出厂时对流量显示的范围与相应的mfm/mfc的量程进行匹配，使用时显示值即是流量值，很直观，气体热流量计计算，符合习惯，为多数用户所采用。 匹配好后，气体热流量计分类，原则上也能接其它量程的mfm/mfc使用，只是显示值需要修正。

流量控制器的特点

地定量控制流量

流量控制器可以地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等---有用。

适用范围宽

有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10mpa; 可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如hcl）；有很宽的流量范围，我们的产品流量范围可达0～5 sccm，流量范围可达0～200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%， 流量控制范围是满量程的2～100% 量程比为-- 50:1， 因此在很多领域得到广泛应用。

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流量控制器的稳定控制时间

由于到达设定值后控制器可能会发生超调，所以通常制造商用到达设定值且稳定后所需要的时间作为设备响应速度，并赋予波形振荡幅度一个容许范围。举个例子，气体热流量计原理， 容许范围2%表示流量波动在设定值的2%以内即为稳定。一般流量控制器的精度在0.5%~2%之间，但一些制造商却将稳定容许范围扩大到10%。我们认为如果用户要将流量控制在期望的设定值，那么其稳定容许范围也必须落在设备精度范围内。如下面示波器截屏图所示，控制器在27.6毫秒时到达了与设备精度(满量程的1%)等同的稳定容许范围。

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