流量控制器是一种测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿，可根据需要进行流量设定，自动地将流量恒定在设定值上，混合气体流量计分类，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。可以地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制，是用于对于不同气体的比例控制。直接测量气体的流量，输出流量信号，不用其他设备。可以的测量微小流量，采用分流装置，又可以测量大流量，而且温度，压力范围很大。
一、压力状况
在加气机中使用的流量控制器测量的气体的压力不低于20mpa，压力远远大于---压。高压改变了振动管的内应力，提高了弹性管的等效刚度，从而使振动管的振动频率增大，两管的相位差减小；气体流经振动管时，存在压降，使得振动管受力不对称，这也对相位差有影响。
二、温度影响
用于加气机的cmf工作温度远低于室温，热式气体流量计分类，温度影响必须考虑；介质温度或环境温度变化会改变测量振动管的杨氏模量和影响零漂的结构等各种因素。
三、流速问题
压缩气体密度低，流速快，其影响不能忽略。理想情况下，流速增大则振动管的振动频率减小。通常流体密度变化小，可以认为流速与流体流量正比，因此流速的补偿可以转化为流量变化的非线性因素进行补偿。
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流量控制器(mfc)中设置有一个气体流量调节阀门， 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程，电子气体流量计分类， 在工作的过程当中， 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降， 即压差。mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa， 若压差低于值(0.1 mpa)， 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3mpa)， 有可能关闭时流量不能小于2%f.s。用户使用mfc时， 无论用户工作的反应室是真空还是高压， 应做到使mfc进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内， 并且要求气压要相对稳定。
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流量控制器的特点是：当自力式流量控制阀进口、出口压差变化时，通过自力式流量控制阀的流量恒定不变。
流量控制器的性能参数有：流量控制精度、工作压差范围、启动压差。
流量控制精度指的是流量控制器的控制流量的误差，行业标准中的误差要求小于等于8％，a类产品的误差小于等于5％。流量控制精度的高低取决于流量控制器的设计、加工和材质。
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