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流量控制器, 即mass flow controller(缩写为mfc), 不但具有流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,热式气体流量控制器,即用户可根据需要进行流量设定,热式气体流量控制器报价,mfc自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。
流量控制器的特点是:当自力式流量控制阀进口、出口压差变化时,通过自力式流量控制阀的流量恒定不变。
流量控制器的性能参数有:流量控制精度、工作压差范围、启动压差。
流量控制精度指的是流量控制器的控制流量的误差,行业标准中的误差要求小于等于8%,热式气体流量控制器厂家,a类产品的误差小于等于5%。流量控制精度的高低取决于流量控制器的设计、加工和材质。
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气体流量单位一般以sccm(standard cubic centimeter per minute,每分钟标准毫升)和slm(standard liter per minute,每分钟标准升)来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325pa (760mm hg); 温度—0℃ (27---k)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm﹑slm不同于ml/min﹑l/min 之处。
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