由于到达设定值后控制器可能会发生超调，所以通常制造商用到达设定值且稳定后所需要的时间作为设备响应速度，并赋予波形振荡幅度一个容许范围。举个例子， 容许范围2%表示流量波动在设定值的2%以内即为稳定。一般流量控制器的精度在0.5%~2%之间，但一些制造商却将稳定容许范围扩大到10%。我们认为如果用户要将流量控制在期望的设定值，那么其稳定容许范围也必须落在设备精度范围内。如下面示波器截屏图所示，进口气体流量计规格，控制器在27.6毫秒时到达了与设备精度(满量程的1%)等同的稳定容许范围。
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仪表连接管道的振动连接tmf的管道在常见实际范围内的振动不会产生振动干扰，在正常情况下不影响仪表的测量性能。惟插入式tmf的检测杆必须牢固地固定于管道，并避免装在有振动的场所。
脉动流的影响tmf响应时间长，不适应脉动流流量测量。若作测脉动流测量，应了解tmf的响应性，以---能跟随的上脉动的速度变化。脉动引起的测量误差通常使仪表输出偏高，其程度取决于脉动幅值和频率。
流量计，即mass flow meter（缩写为mfm），进口气体流量计， 是一种准确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
流量控制器，进口气体流量计说明书， 即mass flow controller（缩写为mfc），进口气体流量计生产厂家， 不但具有流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，mfc自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说，流量控制器就是一个稳流装置， 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
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