流量控制器，即massflowcontroller(mfc)，不但具有流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，流量计，即用户可根据需要进行流量设定，mfc自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。流量控制器（mass flow controller缩写为mfc）用于对于气体或者液体的流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，流量计品牌，cvd，流量计计算，等离子刻蚀，溅射，离子注入，流量计---，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。
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流量精度： ±0.002×流量±零点漂移
密度测量精度： ±0.003g／cm3
密度测量范围： 0.5~1.5g／cm3
温度测量范围： ±1°c
传感器相关数据：
环境温度： －40~60°c
介质温度： －50~200°c
防爆类型： ibⅱbt3
关联设备： 配套变送器
(3) 变送器相关数据：
工作温度： 0~60°c
相对湿度： 95%以下
电 源： 220±10%vac，50hz或24±5%vdc，40w
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1、 稳定的流量供给，不受温度、压力变化
2、 宽量程比，可达100：1
3、 ---0.1%的重复性和1.0级的精度等级
4、 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
5、 内置70余种气体，触屏式直接操作切换，无需重新校准
6、 标配三种显示方式：数字、模拟和本地面板
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