流量计，即mass flow meter（缩写为mfm）， 是一种准确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
流量控制器， 即mass flow controller（缩写为mfc）， 不但具有流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，mfc自动地将流量恒定在设定值上，流量计说明书，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说，流量控制器就是一个稳流装置， 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
流量控制器的工作压差范围通常比较小， 要在高压条件下正常使用需要---注意三点: 一， 是要选择耐压符合要求的mfc; 二， 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 三， 要在mfc气路前面加减压阀， 稳定入口气压， 在mfc下游加背压阀， 稳定反应室和mfc出口的气压， 适当调节减压阀和背压阀， 要---mfc的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点， mfc就能够在高压条件下稳定工作。
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流量控制器是一种测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿，可根据需要进行流量设定，自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。可以地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制，流量计型号，是用于对于不同气体的比例控制。直接测量气体的流量，输出流量信号，不用其他设备。可以的测量微小流量，采用分流装置，又可以测量大流量，而且温度，压力范围很大。
一、压力状况
在加气机中使用的流量控制器测量的气体的压力不低于20mpa，压力远远大于---压。高压改变了振动管的内应力，提高了弹性管的等效刚度，从而使振动管的振动频率增大，两管的相位差减小；气体流经振动管时，流量计原理，存在压降，使得振动管受力不对称，这也对相位差有影响。
二、温度影响
用于加气机的cmf工作温度远低于室温，温度影响必须考虑；介质温度或环境温度变化会改变测量振动管的杨氏模量和影响零漂的结构等各种因素。
三、流速问题
压缩气体密度低，流速快，其影响不能忽略。理想情况下，流速增大则振动管的振动频率减小。通常流体密度变化小，可以认为流速与流体流量正比，因此流速的补偿可以转化为流量变化的非线性因素进行补偿。
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