流量计，即mass flow meter（缩写为mfm）， 是一种准确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
流量控制器， 即mass flow controller（缩写为mfc）， 不但具有流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，mfc自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说，流量控制器就是一个稳流装置， 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
流量控制器(mfc)中设置有一个气体流量调节阀门， 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程， 在工作的过程当中，流量控制器厂家， 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降， 即压差。mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa， 若压差低于值(0.1 mpa)， 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3mpa)， 有可能关闭时流量不能小于2%f.s。用户使用mfc时， 无论用户工作的反应室是真空还是高压， 应做到使mfc进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内，流量控制器， 并且要求气压要相对稳定。
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热式流量器的基本原理是利用外部热源对管道内的被测流体加热，热能随流体一起流动，通过测量因流体流动而造成的热量（温度）变化来反映出流体的流量。
当流体成分确定时，流体的定压比热为已知常数。因此由上式可知，若保持加热功率恒定，则测出温差便可求出流量；若采用恒定温差法，即保持两点温差不变，则通过测量加热的功率也可以求出流量。由于恒定温差法较为简单、易实现，流量控制器，所以实际应用较多。这种流量计多用于较---体流量的测量。
为避免测温和加热元件因与被测流体直接接触而被流体玷污和腐蚀，可采用非接触式测量方法，即将加热器和测温元件安装在薄壁管外部，而流体由薄壁管内部通过。非接触式测量方法，适用于小口径管道的微小流量测量。当用于大流量测量时，可采用分流的方法，即仅测量分流部分流量，再求得总流量，以扩大量程范围。
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