热式流量器可测量低流速(气体0.02~2m/s)微小流量;浸入式热式流量计可测量低~中偏高流速(气体2~60m/s)，插入式热式流量计更适合于大管径。
热式流量计无活动部件，无分流管的热分布式仪表无阻流件，压力损失很小;带分流管的热分布式仪表和浸入性仪表，虽在测量管道中置有阻流件，但压力损失也不大。
热式流量计使用性能相对---。与推导式流量仪表相比，不需温度传感器，压力传感器和计算单元等，仅有流量传感器，组成简单，气体流量控制器，出现故障概率小。
热分布式仪表用于h2 、n2 、o2、co 、no等接近理想气体的双原子气体，不---这些气体专门标定，直接就用空气标定的仪表，实验证明差别仅2%左右;用于ar、he等单原子气体则乘系数1.4即可;用于其他气体可用比热容换算，但偏差可能稍大些。
气体的比热容会随着压力温度而变，但在所使用的温度压力附近不大的变化可视为常数。
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流量控制器，即massflowcontroller(mfc)，气体流量控制器厂家，不但具有流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，mfc自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。流量控制器（mass flow controller缩写为mfc）用于对于气体或者液体的流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，气体流量控制器哪里有，分子束外延，cvd，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。
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提高气体流量控制器实用准确度的措施为：
1.针对气体流量控制器的实际工艺参数，气体流量控制器价格，对该流量计进行“个性化标准”，从而实现在实际使用流量点的一定范围内，该气体流量控制器的实际测量误差(与标准值的差)趋于零。
2.把好气体流量控制器的安装环节，减少或消除机械应力、机械扭力和机械振动等对该流量计使用的影响。
3.考虑工艺压力、温度等对气体流量控制器测量准确度的影响。
4.把好气体流量控制器的投用关。
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