




流量控制器(mfc)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,进口气体流量计说明书, 即压差。mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa, 若压差低于值(0.1 mpa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3mpa), 有可能关闭时流量不能小于2%f.s。用户使用mfc时,进口气体流量计, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使mfc进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。
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怕粉尘, 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器, 造成测量误差,进口气体流量计规格, 要求在进气口前加装过滤器;
怕液体和油污进入mfc, 会造成失控, 如果mfc的出口接有液体罐, 需要在mfc出口加上单向阀,进口气体流量计原理, 防止液体回流;
怕使用潮湿的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 造成mfc通道损坏, 因此要求在使用腐蚀性气体前, 要对气体和mfc管路系统进行干燥处理;
怕在使用强腐蚀性、有毒等危害性气体时不按安全规则操作, 有可能造成产品损坏和其它更---的损失。正确使用, 安全操作, 对每个用户都是重要的。
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热式流量器的基本原理是利用外部热源对管道内的被测流体加热,热能随流体一起流动,通过测量因流体流动而造成的热量(温度)变化来反映出流体的流量。
当流体成分确定时,流体的定压比热为已知常数。因此由上式可知,若保持加热功率恒定,则测出温差便可求出流量;若采用恒定温差法,即保持两点温差不变,则通过测量加热的功率也可以求出流量。由于恒定温差法较为简单、易实现,所以实际应用较多。这种流量计多用于较---体流量的测量。
为避免测温和加热元件因与被测流体直接接触而被流体玷污和腐蚀,可采用非接触式测量方法,即将加热器和测温元件安装在薄壁管外部,而流体由薄壁管内部通过。非接触式测量方法,适用于小口径管道的微小流量测量。当用于大流量测量时,可采用分流的方法,即仅测量分流部分流量,再求得总流量,以扩大量程范围。
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