发布单位：厚礼博精密仪器(北京)有限公司 发布时间：2024-5-7
目前我公司的热式气体流量控制器是在20℃，1个---压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。产品耐压主要分为：10bar、50bar和100bar。热式气体流量控制器/流量计的通讯方式常分为：模拟式和数字式两种。智能仪表随着80年代初单片机技术的成熟而发展起来，当初是数据模拟信号输出简单过程量，后来仪表接口是rs232接口，这种接口可以实现点对点的通信方式，但这种方式不能实现联网功能，随后出现的rs485解决了这个问题。
国内使用广泛的是热式气体流量控制器即mfc，热式气体流量控制器的主要原理是：在直径较细的感应管中放置两对加热器，并将其控制在同一温度。当流体流动时，气体将上游的部分热量带给下游，而下游的加热器从上方获取热量温度上升。这时，利用上下加热器之间产生的温度差和流体的流量成比例的原理，来测定流量。
热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的流量成正比，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。
ist公司的fs5.0.1l.195是一个热质流量传感器,用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则,确定流体的流率.随着流体通过传感器,热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加,热量被传递.通过了解媒体的温度,即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。
而ist-ag fs7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中，免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护，具有较佳的长期稳定性。
因此在终端应用中，流量控制器的---性多半是许多半导体工艺的基础。mfc 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降，甚至会损坏整个晶圆。采用ist流量传感器则可以为mfc产品带来如下优势:
1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路，而进行直接测量，提高测量的准确性。
2、薄膜技术带来---的响应灵敏度，在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。
3、小巧的体积与简单的安装方式，给气路结构优化创造的空间。
热式流量计是基于热扩散原理而设计的流量仪表。即利用流体流过---物体时，---物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。该系列流量计的传感器有两只标准级的rtd，一只用来做热源，一只用来测量流体温度，当流体流动时，两者之间的温度差与流量的大小成线---，再通过微电子控制技术，将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。
它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的流量成正比，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。
热式气体流量控制器和流量计，根据它的信号传输模式可以分为：模拟型和数字型两种。国产的产品中，模拟型分为电压（0-5v或0-10v，每个厂家与厂家之间可能会有稍微的差异）和电流（4-20ma或0-20ma）；数字型的主要还是市场上传统的rs485 modbus协议或rs232 （国外的产品还可选perfnet或是总线方式）。用户主要是通过采集数据信号，来进行的气体流量的检测，以及设定数据信号值，来达到调节和开启截止阀门的开度，从而控制气体的流量。
在等离子清洗机中，一般会使用到微小流量的气体，对其进行离化，生成一种全新的物质状态——等离子状态。模拟型和数字型的气体流量控制器也在等离子清洗设备中广泛使用，设备对气体流量控制器的稳定性和重复性要求---，耐压能达5mpa，精度可达±1%f.s，重复性和线性精度稳定。
等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球---中电离层中的物质，对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。经济的发展，人们的生活水平不断提高，对消费品的要求也越来越高，等离子技术随之逐步进入生活消费品生产行业中；另外呢，科技的不断发展，各种技术问题的不断提出，新材料的不断涌现，越来越多的科研机构已认识到等离子技术的重要性，并投入大量资金进行技术攻关，等离子技术在其中发挥了非常大的作用。
