发布单位：厚礼博精密仪器(北京)有限公司 发布时间：2022-7-31
流量计，即mass flow meter（缩写为mfm）, 是一种准确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
流量控制器, 即mass flow controller（缩写为mfc）, 不但具有流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，mfc自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。被加热探头里面含有一个加热器，在靠近壁面附近布置一个温差热电偶并用导热系数与密度之比较大的石墨填充。
流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。流量控制器的剖面结构图见图1。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。应用于高压气体时流量传感器则宁可选择水平安装，因为这样便于做到调零的零偏置。与流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。气体流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理。
流量控制器在正常工作时，流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力，它是科里奥利在1832年研究水轮机时发现的，简称科氏力。流量计以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的t型振管，中部装有驱动线圈，两端装有拾振线圈，变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周期振动，工业过程的流体介质流经传感器的振动管，就会在振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号，这两个信号差与流经传感器的流体流量成比例关系。计算机解算出流经振管的流量。不同的介质流经传感器时，振管的主振频率不同，据此解算出介质密度。工业炉窑中的燃料流量计如果不---，造成流路堵塞，容易导致炉子熄火，酿成事故。安装在传感器器振管上的铂电阻可间接测量介质的温度。
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