发布单位：厚礼博精密仪器(北京)有限公司 发布时间：2022-6-23
流量计，即mass flow meter（缩写为mfm）, 是一种准确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
流量控制器, 即mass flow controller（缩写为mfc）, 不但具有流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，mfc自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。然而有些型号仪表对安装姿势具有敏感性，大部分制造厂会对此就安装姿势影响和安装要求作出说明。
流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要---注意三点: 一, 是要选择耐压符合要求的mfc; 二, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 三, 要在mfc气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在mfc下游加背压阀, 稳定反应室和mfc出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要---mfc的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点, mfc就能够在高压条件下稳定工作。当气体流速增加，冷却效应越大，使须保持热电阻间恒温的电流也越大。
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使用挥发性液体蒸发汽, 气压很低, 如何定制流量控制器的低压降产品?
部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源, 气压很低, 用普通mfc, 不能正常工作。这时用户需要向供货商---声明, 定制低压降的流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01mpa的mfc, 这时mfc的工作压差范围, 也会变小。
注意使用挥发性液体蒸发汽时, 不能让汽化物在mfc中结露, 结露会影响mfc的正常工作。为了防止结露, 可以对管路和mfc适当加温, 但mfc的工作环境温度通常不得超过50℃。2）浸入式带测量管的浸入式流量传感器和插入式仪表需要一定长度前置直管段，iso/dis14511对此未作具体规定，而按制造厂建议的值。如果用户要mfc的工作环境温度超过65℃以上, 需要特殊购买高温mfc产品。
