发布单位:厚礼博精密仪器(北京)有限公司 发布时间:2022-5-30
通过测量气体流经流量器内加热元件时的冷却效应来计量气体流量的。气体通过的测量段内有两个热阻元件,其中一个作为温度检测,另一个作为加热器。温度传感元件用于检测气体温度,加热器则通过改变电流来保持其温度与被测气体的温度之间有一个恒定的温度差。当气体流速增加,冷却效应越大,使须保持热电阻间恒温的电流也越大。此热传递正比于气体流量,即供给电流与气体流量有一对应的函数关系来反映气体的流量。(3)地定量控制流量流量控制器可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等---有用。
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使用挥发性液体蒸发汽, 气压很低, 如何定制流量控制器的低压降产品?
部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源, 气压很低, 用普通mfc, 不能正常工作。这时用户需要向供货商---声明, 定制低压降的流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01mpa的mfc, 这时mfc的工作压差范围, 也会变小。
注意使用挥发性液体蒸发汽时, 不能让汽化物在mfc中结露, 结露会影响mfc的正常工作。为了防止结露, 可以对管路和mfc适当加温, 但mfc的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要mfc的工作环境温度超过65℃以上, 需要特殊购买高温mfc产品。倘若液体中含有悬浮颗粒物,抽湿过程可能会留下固体颗粒,从而导致流量计或流量控制器内留有残渣。
选择产品和订货时应当注意
注意选择合适的响应时间指标
有的应用系统对mfc的响应时间有较高的要求,用户应根据自己的情况加以考虑。在考虑响应时间指标的同时,还应注意其响应过程及动态特性。
注意对安装位置有无要求
有的厂家的产品要求必须水平位置安装。
注意使用气体和适用范围
mfm/mfc 对使用的环境及介质温度﹑气源压力﹑介质(---是使用对腐蚀性气体)情况等均有一定适用范围,请注意阅读说明书或向厂家咨询。
注意接头形式
通常有双卡套(swagelok)和vcr两种接头可以选择, vcr接头性能---适合于应用。
订货应注明:
产品名称、型号、流量规格、标定气体、使用气体(---是腐蚀性气体)、接头形式和数量。
怎样选择流量显示仪?
我们的流量显示仪非常丰富,可供用户选择的余地很大。
我们有单通道(配接一台mfm/mfc)和多通道(配接多台mfm/mfc)产品;多通道产品中又有共用显示和分别显示之分(前者体积较小,价格稍便宜,但显示需切换;后者体积较大,但显示直观);有台式﹑仪表式﹑和上架机箱式;有输入输出只能是电压信号的,也有电压和电流信号都行的;多数产品使用交流220v电源,也有产品可使用交流110v电源;对于---化硼等强腐蚀性气体和mocvd使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的mfc。有mfc和mfm都能配的,也有单配mfm的。
还有流量积算仪可进行瞬时流量和累积流量的显示。
将流量显示仪安装在机柜上的用户,请注意安装的开孔尺寸。